Aspectos Destacados del Producto
Alta Fiabilidad en la Producción de Semiconductores
Cuando se interrumpe el suministro de energía de manera inesperada, el chuck de vacío del brazo macro permanece activo, permitiendo la extracción segura de la oblea.
Funciones de Inspección Macro
Se admite la inspección del patrón del lado frontal de la oblea semiconductor, así como del perímetro posterior y del área central. La velocidad de rotación y el ángulo de inclinación de la oblea se ajustan automáticamente o manualmente.
Diseñado para un Máximo Rendimiento
Un elevador de cassette de obleas rápido con un mecanismo de centrado sin contacto permite un alineamiento rápido y preciso de la oblea mediante un sistema de múltiples brazos para cargar y descargar obleas con la mayor precisión.
Diseño Ergonómico
El NWL200 está diseñado ergonómicamente para facilitar su operación y control.
Posicionado a 35 grados a la izquierda, la ubicación de la oblea en la ranura y el intercambio completo del cassette son fáciles.
Para obtener más información sobre NWL200 Wafer Loader Series, visite el sitio web Nikon Industrial Metrology











